ミストトラップフィルター
真空容器から飛来するミストは真空ポンプはじめ排気ラインを損傷させます。
弊社のミストトラップフィルターは微細なミスト状の液滴を効率良く粗粒化させてドレインとして捕集致します。
設備フロー図
設置例
| ユーザー | プロセス | ミスト性状 | 目的・効果 |
| 半導体製造 | CVD | 酸系ミスト | ドライポンプの腐蝕防止 |
| イオン注入 | 粉状ミスト | 油回転ポンプの保護 | |
| 太陽電池製造 | CVD | フッ素系ミスト | 真空ポンプ及び排気配管 |
| 薬品製造 | 真空脱泡 | モノマーミスト | 真空ポンプの安定稼働 |
| 蓄電池製造 | 真空処理 | 薬液ミスト | ドライポンプの保護 |
技資191011
真空排気系をミストから守る
ミスト トラップ
真空装置から飛来するミストは真空ポンプはじめ排気ラインを腐蝕損傷させます。
テクノスのミストトラップフィルターは微細なミスト状の液適を効率よく粗粒化させてトレイントして捕集します。
| ステンレスタイプ | 塩ビタイプ |
|---|---|
 |
 |
＜ミストトラップフィルターのトラップ原理＞
本フィルターはミスト状微細液滴や油蒸気などを粗粒化してトラップします。液体との親和力の異なる異種のろ材を多層組合せて液滴を巨大化します。
＜フィルターろ材断面＞
＜ミストトラップの基本構造＞
 |
|
