マイクロHOT N2
ターボ分子ポンプを粉体から守る
マイクロ HOT N2
マイクロHOT N2は高温・微少の窒素ガスをターボ分子ポンプ内部に導入して粉体の堆積や固着を防止します。
ターボ分子ポンプのロックトラブルを予防したりオーバーホール費用の削減に有効です。
【マイクロHOT N2の取付図】
【仕様】
| ヒーター部サイズ | ：80×50×40mm コントローラー別 |
| 温度範囲 | ：40～100℃ |
| N2流量 | ：50～100㎖/分 |
| 電源 | ：200V/100V・200W |
【マイクロHOT N2の取付画像】
【使用実績】
| ユーザー | 工程 | TMP状況 | 台数 |
| R社 | メタルエッチャー 8インチ |
1〜2年毎の ドラブルが2年間 安定稼働 |
3台 |
| R社 | メタルエッチャー 8インチ |
3〜6ヶ月毎の ドラブルが2年以上 安定稼働 |
7台 |
| C社 | メタルエッチャー 8インチ |
2年以上の 安定稼働 |
3台 |
