製品案内
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粉体トラップフィルター液晶パネルCVDや半導体CVDなどの粉体処理に最適です。 |
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HOT N2ヒーター真空排気配管を常に清浄を保つ新ツール |
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ポンプセーバードライポンプの稼働をサポートする粉体対応の小型真空発生器 |
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パウダーキラー真空排気配管を分解しないで粉体クリーニングします。 |
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ポンプクリーナードライポンプの再起動不良防止と予防保全に利用します。 |
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大型粉体トラップ・フィルター真空ポンプ間の狭いスペースに収納出来る箱形粉体トラップです。 |
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フッ素コーティングCVD、ドライエッチャー等の排気ラインからチャンバー等のウエハープロセスまで幅広い範囲でご利用できます。 |
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マイクロHOT N2ターボ分子ポンプを”クラッシュ”から守り、長期運転をお約束します。 |
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集塵機用カートリッジフィルターろ材にフッ素樹脂(PTFE)をコートした耐熱、耐蝕性に優れた、高機能カートリッジフィルターです。 |
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ミストトラップ・フィルターミストトラップ・フィルターは微細なミスト状の液滴を効率良く粗粒化させてドレインとして捕集致します。 |