高性能HEPAフィルター
半導体・液晶パネルなどのクリーンルームを利用する業界で培われてきたテクノスのフィルター技術は性能だけでなくコストの優位性も兼ね備えています。
HEPAフィルター例
各クリーンルーム現場に合わせたＨＥＰＡフィルターを用意します。
| 捕集率 | 99.97％ at 0.3μｍ |
| サイズ(mm） | 430×450×150 840×530×230 |
| 風量（ｍ3/min） | 8.6～22 |
半導体・液晶パネル製造装置をサポートする
半導体・液晶パネルなどのクリーンルームを利用する業界で培われてきたテクノスのフィルター技術は性能だけでなくコストの優位性も兼ね備えています。
各クリーンルーム現場に合わせたＨＥＰＡフィルターを用意します。
| 捕集率 | 99.97％ at 0.3μｍ |
| サイズ(mm） | 430×450×150 840×530×230 |
| 風量（ｍ3/min） | 8.6～22 |