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粉体トラップ管理システム
システムの目的
CVD装置などの稼働率の改善
排気ラインのメンテナンス費用の削減
製品のコストダウン
システムの流れ
システムの運用
洗浄会社からのトラップ洗浄報告により粉体トラップの使用状況を常時監視します。
ユーザー、洗浄会社、テクノスがこれからの情報を共有化することで次の作業を行います。
粉体トラップの異常検知及び対策
プロセス条件変更などに対応したフィルターの最適化
粉体トラップ管理システム
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うえだ通信
2024年9月30日 うえだ通信
2024年8月28日 うえだ通信
2024年7月25日 うえだ通信
2024年6月25日 うえだ通信
2024年5月27日 うえだ通信
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