粉体ﾄﾗｯﾌﾟ管理ｼｽﾃﾑ

システムの目的

  • CVD装置などの稼働率の改善
  • 排気ラインのメンテナンス費用の削減
  • 製品のコストダウン

 

システムの流れ

粉体トラップ管理システムの流れ

 

システムの運用

  • 洗浄会社からのトラップ洗浄報告により粉体トラップの使用状況を常時監視します。
  • ユーザー、洗浄会社、テクノスがこれからの情報を共有化することで次の作業を行います。
  • 粉体トラップの異常検知及び対策
  • プロセス条件変更などに対応したフィルターの最適化
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