製品案内

マイクロHOT N2

ターボ分子ポンプを”クラッシュ”から守り、長期運転をお約束します。

 

パウダーキラー

真空排気配管を分解しないで粉体クリーニングします。

 

ポンプセーバー

ドライポンプの稼働をサポートする粉体対応の小型真空発生器

 

集塵機用カートリッジフィルター

集塵機用カートリッジフィルター

ろ材にフッ素樹脂(PTFE)をコートした耐熱、耐蝕性に優れた、高機能カートリッジフィルターです。

 

粉体トラップフィルター

粉体トラップフィルター

液晶パネルCVDや半導体CVDなどの粉体処理に最適です。

 

大量粉体フィルター

大量粉体フィルター

真空ポンプ間の狭いスペースに収納出来る箱形粉体トラップです。

 

ミストトラップフィルター

ミストトラップフィルター

ミストトラップフィルターは微細なミスト状の液滴を効率良く粗粒化させてドレインとして捕集致します。

 

Hot N2 ヒータ

Hot N2 ヒータ

真空排気配管を常に清浄を保つ新ツール

 

フッ素コーティング

フッ素コーティング

CVD、ドライエッチャー等の排気ラインからチャンバー等のウエハープロセスまで幅広い範囲でご利用できます。

 

高性能HEPAフィルター

高性能HEPAフィルター

半導体・液晶パネルなどのクリーンルームを利用する業界で培われてきたテクノスのフィルター技術は性能だけでなくコストの優位性も兼ね備えています。

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