パウダーキラー

真空排気配管を分解しないで粉体クリーニングします。

 

パウダーキラーの超音波振動子はクランプ形状なので複数の排気配管を持ち回りで
クリーニングします。
半導体製造装置を稼働中・真空状態でも
クリーニング可能です。

 

 

パウダーキラー紹介

チューニング方法

効果と能力①

効果と能力②
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