ドライポンプの再起動不良防止と予防保全に利用します。
ドライポンプを停止する数時間前に高温N2を投入することで
粉体固着したポンプ内部をクリーニングして再起動させます。
半導体・液晶プロセスガス 排気系研究会を発足しました